Eine Waferkassette ist ein Behälter, in dem Halbleiterwafer sauber und organisiert aufbewahrt und transportiert werden. Es hat typischerweise eine rechteckige Form und besteht aus Materialien, die mit Reinraumumgebungen kompatibel sind, wie zum Beispiel Kunststoff oder Edelstahl. Das Innere der Kassette ist in Fächer unterteilt, die jeweils einen einzelnen Wafer aufnehmen können. Die Kassetten sollen Wafer vor Verunreinigungen und Beschädigungen während der Handhabung oder des Transports schützen. Sie werden häufig in Halbleiterfertigungs-, Verpackungs- und Testeinrichtungen eingesetzt.
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